潔凈車間溫度和濕度的項目主要是根據(jù)工藝要求來確定的，還要考慮到人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，已經(jīng)對溫濕度要求的過程越來越嚴格的趨勢。

關(guān)于溫度要求的具體過程這里就不詳細介紹，但作為一般原則，由于潔凈車間越來越多的精密加工，所以溫度波動范圍的要求越來越小。例如，在用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為玻璃和掩模材料的硅晶片之間的熱膨脹系數(shù)的差異變得越來越小。100微米直徑的硅晶片，溫度升高1度，它引起的線性膨脹為0.24微米，因此必須有±0.1度恒定的溫度，而濕度值一般較低，這是因為人出汗后產(chǎn)品會被污染，特別是害怕鈉的半導體車間，這種無塵潔凈車間作業(yè)不應超過25度。

高濕度會導致很多問題。如果相對濕度超過50%，則冷卻水的管壁上會發(fā)生冷凝現(xiàn)象。如果發(fā)生在精密設備或者是電路中，可能會發(fā)生各種事故。相對濕度在50%時容易生銹。除此之外，無塵潔凈車間工作濕度過高會通過空氣中的水分子把硅片表面的附著的灰塵化學吸附在表面而難以去除。相對濕度越高，粘附越難去掉，然而當相對濕度小于30%時，由于靜電力的作用，顆粒也容易被吸附在表面上，大量半導體器件容易破裂。